название статьи:
Relationship Between the Rate of Photochemical Metal-Assisted Etching of GaN Layers and Multifractal Parameters of Their Surface Structure
год публикации:
2022
том (номер). номера страниц. DOI::
V.25. P.13–20. DOI: 10.33581/1561-4085-2022-25-1-13-20
журнал:
id:
682